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沒有EUV 半導體強國之夢就「難產(chǎn)」?
國際半導體制造龍頭三星、臺積電先后宣布將于2018年量產(chǎn)7納米晶圓制造工藝。賽迪智庫半導體研究所副所長林雨就此向《中國電子報》記者解釋:“光刻是芯片制造技術的主要環(huán)節(jié)之一。
下一代光刻 半導體制造
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