蝕刻技術(shù)關(guān)鍵字列表
要跟上摩爾定律預(yù)言的晶體管密度步伐,芯片制造商正面臨越來(lái)越大的技術(shù)障礙。超紫外線蝕刻掃描儀使用的激光波長(zhǎng)不到今天最先進(jìn)機(jī)器的十分之一,但要確保超紫外線蝕刻機(jī)器在晶圓工廠長(zhǎng)期可靠的運(yùn)行同樣是一件艱巨的工程挑戰(zhàn)。
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