EUV透過高能量、波長(zhǎng)短的光源，解決既有顯影技術(shù)瓶頸，是先進(jìn)制程發(fā)展的關(guān)鍵設(shè)備，一臺(tái)要價(jià)1億歐元，晶圓代工廠導(dǎo)入EUV量產(chǎn)的時(shí)程，被業(yè)界視為技術(shù)領(lǐng)先的關(guān)鍵。

臺(tái)積電明年領(lǐng)先群雄，率先導(dǎo)入EUV量產(chǎn)，意味再次棒打英特爾、三星等勁敵，晶圓代工龍頭地位屹立不搖。

臺(tái)積電董事長(zhǎng)魏哲家證實(shí)，臺(tái)積電導(dǎo)入EUV的7納米強(qiáng)化版(7+)將于明年第2季量產(chǎn)，是全球首家采用EUV為客戶量產(chǎn)芯片的晶圓代工廠。

稍早三星曾宣布取得蘋果部分處理器訂單，并宣稱是全球第一家在7納米導(dǎo)入EUV量產(chǎn)的半導(dǎo)體廠。魏哲家此言等于打臉三星，宣示臺(tái)積電技術(shù)含金量遠(yuǎn)高于同業(yè)，凸顯臺(tái)積電在先進(jìn)制程已贏得全球芯片大廠信任。

魏哲家不愿透露首批導(dǎo)入EUV設(shè)備量產(chǎn)客戶，強(qiáng)調(diào)有多個(gè)產(chǎn)品導(dǎo)入7+FFT先進(jìn)制程將會(huì)量產(chǎn)。據(jù)悉，臺(tái)積電將把EUV應(yīng)用于2020年量產(chǎn)的5納米制程，并開始應(yīng)用于3納米制程技術(shù)開發(fā)，業(yè)界預(yù)期，臺(tái)積電挾EUV領(lǐng)先量產(chǎn)優(yōu)勢(shì)，將橫掃5G、AI等訂單。