近期，先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域在京組織專家對(duì)863計(jì)劃“典型MEMS器件設(shè)計(jì)制造與應(yīng)用關(guān)鍵技術(shù)”主題項(xiàng)目“雷電預(yù)警傳感器及系統(tǒng)”課題進(jìn)行了驗(yàn)收。課題開展了大氣電場(chǎng)探測(cè)及雷電預(yù)警傳感器研究，突破了MEMS電場(chǎng)傳感器設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試、可靠性等關(guān)鍵技術(shù)，研制出系列化微型電場(chǎng)傳感器，顯著提高了傳感器的靈敏度，提高了電場(chǎng)測(cè)量的精度和可靠性，提高了器件成品率和一致性。研制出的大氣電場(chǎng)地面探測(cè)裝置和空中電場(chǎng)探測(cè)系統(tǒng)，已在我國(guó)衛(wèi)星發(fā)射基地大氣電場(chǎng)探測(cè)系統(tǒng)、國(guó)家電網(wǎng)雷電預(yù)警系統(tǒng)、地面氣象監(jiān)測(cè)、大型石化煉廠雷電監(jiān)測(cè)與預(yù)警系統(tǒng)等多個(gè)領(lǐng)域得到示范應(yīng)用。課題研究成果推動(dòng)了我國(guó)微型電場(chǎng)傳感器及其相關(guān)行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步，具有廣闊應(yīng)用前景。