設(shè)備國產(chǎn)化關(guān)鍵字列表
作為我國實施制造強(qiáng)國戰(zhàn)略第一個十年的行動綱領(lǐng)，《中國制造2025》對于半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化提出了明確要求：在2020年之前，90~32納米工藝設(shè)備國產(chǎn)化率達(dá)到50%，實現(xiàn)90納米光刻機(jī)國產(chǎn)化，封測關(guān)鍵設(shè)備國產(chǎn)化率達(dá)到50%。
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