臺積電承諾會在南科投資逾新臺幣6000億元興建3納米新廠，而且未來五年的資本支出，將以5%-10%的幅度成長。臺積電供應鏈推估，以臺積電資本支出的規(guī)模，未來五年都會維持在百億美元之上，估計五年將花費高達新臺幣1.8萬億元在設備、材料和相關無塵室和環(huán)保回收設備的投資，將吸引全球頂尖半導體設備和材料廠向臺灣地區(qū)靠攏，形成一股強而有力的新聚落。

臺積電張忠謀宣布退休后接受外電訪問時表示，3納米新廠投資金額將會超過200億美元，而臺積電目前一年資本支出約100億美元，以維持與英特爾和三星電子并駕齊驅的競爭力。

臺積電3納米投資計劃帶動的族聚效益相當龐大，不僅奠定臺灣半導體在全球重要地位，尤其是晶圓代工和后段封測持續(xù)在全球領先，相關供應鏈形成的產業(yè)聚落，也是臺灣半導體產業(yè)仍可持續(xù)領先大陸的最佳憑藉。

配合臺積電3納米投資計劃，已有多家半導體設備和材料廠，都同時宣布擴大在臺投資，以利縮短交期并協(xié)助臺積電降低成本。

這些廠商包括美商應材、荷商艾司摩爾（ASML）、德商默克（Merck）、美商科林研發(fā)（LamResearch）、日商艾爾斯（RSTechnologies）以及美商英特格等，都擴大在臺灣布局，包括設備應用組裝中心，以及技術和材料研發(fā)中心。

據(jù)估計，臺積電龐大的設備和采購商機，絕大部分都會落在這些知名的國際半導體設備和材料大廠上，臺商頂多在周邊或耗材分到商機；部分項目是這些大廠將備品或零組件委由臺灣設備商加工，但金額估計有近九成都會落在外商手中，臺積電如何藉由此投資案，協(xié)助本土設備和材料廠升級，將是未來應思考的課題。