半導(dǎo)體材料供應(yīng)大廠英特格(Entegris)宣布,將擴(kuò)建其在中國臺灣新竹的臺灣技術(shù)研發(fā)中心(TTC),計劃包含專門開發(fā)過濾媒介的微污染控制實驗室(MCL),協(xié)助客戶在邏輯、DRAM和3DNAND裝置制造上的挑戰(zhàn)。
英特格指出,隨著半導(dǎo)體制程對于品質(zhì)精進(jìn)的要求,制程環(huán)境的偵測與控制也隨之延伸進(jìn)化,當(dāng)制程演進(jìn)到納米等級,空氣中原本被忽略的微小氣狀分子污染物(AirborneMolecularContamination;AMC),開始對制程良率及產(chǎn)品可靠度產(chǎn)生了影響。
英特格宣布將擴(kuò)建其在臺灣新竹的臺灣技術(shù)研發(fā)中心,擴(kuò)建計劃包含專門開發(fā)過濾媒介的微污染控制實驗室,同時也是亞洲應(yīng)用開發(fā)實驗室(AADL)遷移后的新址,該實驗室主要從事微量金屬、有機(jī)污染物和納米微粒的分析。
此擴(kuò)建計劃將擴(kuò)大中心現(xiàn)有的研發(fā)、工業(yè)化生產(chǎn)和試產(chǎn)能力,同時建立單一的廠外合作據(jù)點,來滿足客戶伙伴對特用化學(xué)品、CMP和液體過濾上的需求。
英特格全球業(yè)務(wù)副總謝俊安表示,隨著器件微縮持續(xù)是當(dāng)今裝置高效構(gòu)建的主要驅(qū)動力,制程材料與設(shè)備間的互動及相依性正位居關(guān)鍵的演化點上。將業(yè)界內(nèi)最專業(yè)頂尖的人才齊聚在這座最先進(jìn)的研發(fā)中心內(nèi),英特格將更有能力來滿足這些需求。
擴(kuò)建MCL設(shè)施后,將我們在液體過濾、特用化學(xué)品和CMP領(lǐng)域的核心專才整合,提供更完整的分析服務(wù)與技術(shù)開發(fā)解決方案,協(xié)助客戶伙伴在邏輯、DRAM和3DNAND裝置制造上的挑戰(zhàn)。
英特格成立于1966年,50年來為最先進(jìn)的制造環(huán)境提供材料和解決方案提升良率,在半導(dǎo)體及其他高科技行業(yè)的污染控制、關(guān)鍵材料處理與先進(jìn)制程材料方面處于市場領(lǐng)先位置。
謝俊安補充,2016年的銷售額為12億美元,其中半導(dǎo)體收入占總收入的77%。半導(dǎo)體行業(yè)是英特格主要服務(wù)的領(lǐng)域,此外還有數(shù)據(jù)存儲、顯示、太陽能、姓名科學(xué)、環(huán)境可持續(xù)等領(lǐng)域。